点击图片查看原图
离子源中空阴极 e-Mission Hollow Cathodes
上海伯东美国 KRI 考夫曼离子源提供中空阴极 e-Mission Hollow Cathodes 结构紧凑, 重量轻, 可以安装在离子源或真空系统的侧面, 相对于灯丝的模式有更长的使用寿命, 这在运行忌讳突然中断的复杂工艺时, 是非常有意义的. 而且离子源中空阴极 Hollow cathode 辐射的热量更低, 可以使衬底获得更低的温度,对于对温度敏感的衬底材料而言, 使用中空阴极更有优势.
离子源中空阴极 Hollow Cathodes 型号
|
Model |
HFx |
SHC1000 |
DSHC1000 |
|
Cathode |
Yes |
Yes |
Yes |
|
Neutralizer |
Yes |
Yes |
Yes |
|
Orientation |
Vertical / Horizontal |
Vertical / Horizontal |
Vertical / Horizontal |
|
Regulation |
Emission |
Emission |
Emission |
|
Operational gas |
None |
Inert |
Inert |
|
Process gases |
Inert & reactive |
Inert & reactive |
Inert & reactive |
|
Power Controller |
FC100x |
e- Mission Power Pack |
e- Mission Power Pack |
|
Model |
MHC1000 |
LHC1000 |
|
Cathode |
Yes |
Yes |
|
Neutralizer |
Yes |
Yes |
|
Orientation |
Vertical / Horizontal |
Vertical / Horizontal |
|
Regulation |
Emission |
Emission |
|
Operational gas |
Inert |
Inert |
|
Process gases |
Inert & reactive |
Inert & reactive |
|
Power Controller |
e- Mission Power Pack |
e- Mission Power Pack |
1978 年 Dr. Kaufman 博士在美国创立 Kaufman & Robinson, Inc 公司, 研发生产考夫曼离子源, 霍尔离子源和射频离子源. 美国考夫曼离子源历经 40 年改良及发展已取得多项专利. 离子源广泛用于离子清洗 PC, 离子蚀刻 IBE, 辅助镀膜 IBAD, 离子溅射镀膜 IBSD 领域, 上海伯东是美国考夫曼离子源中国总代理.
若您需要进一步的了解详细信息或讨论, 请参考以下联络方式:
上海伯东: 罗先生 台湾伯东: 王女士
T: +86-21-5046-1322 T: +886-3-567-9508 ext 161
F: +86-21-5046-1490 F: +886-3-567-0049
M: +86 152-0195-1076 M: +886-939-653-958
www.hakuto-china.cn www.hakuto-vacuum.com.tw
伯东版权所有, 翻拷必究！