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Pfeiffer 涡轮分子泵 HiPace 400
上海伯东销售维修德国普发 Pfeiffer 分子泵 HiPace 400, 紧凑设计, 抽速可达到 355 l/s 紧凑有力的涡轮分子泵, 进气法兰 DN 100, 涡轮分子泵通过保护等级 IP54, 半导体 S2, UL / CSA 认证. 涡轮分子泵 HiPace 400 高抽速和最大压缩比, 集成驱动电路, 适用于工业环境和实验研究. 通过分子泵控制器监控运算数据保证分子泵的安全性. 涡轮分子泵 HiPace 400 可选风冷或水冷.
涡轮分子泵 HiPace 400 特性
稳健性工业设计和经过实践证明的高可靠性分子泵轴承系统
结构紧凑, 满足更小的安装空间要求
分子泵高气流量和高抽速
基本款任意角度安装
防护等级 IP 54, 符合工业环境要求
可应用于腐蚀性气体工艺
分子泵通过 SEMI S2 和 UL 认证
涡轮分子泵 HiPace 400 技术参数
|
分子泵型号 |
接口 DN |
抽速 l/s |
压缩比 |
最高启动压强mbar |
极限压力 |
全转速气体流量hPa l/s |
启动时间 |
重量 |
|||
|
进气口 |
排气口 |
氮气 |
氦气He |
氢气 H2 |
氮气 |
氮气N2 |
hPa |
氮气N2 |
min |
kg |
|
|
HiPace 400 |
100 |
25 |
355 |
470 |
445 |
> 1X1011 |
11 |
< 1X10–7 |
6.5 |
2 |
11.6 – 17.5 |
HiPace P 系列, 因其能抵抗工业粉尘和微小粒子而广泛应用于工业领域
分子泵应用 HiPace 400: 广泛应用于各个真空行业
镀膜: 光伏, CD/ DVD/ PVD, 光学镀膜, 硬质涂层
工业: 医学技术, 工业检漏, 电子束焊接, 隔离真空, 热处理, 灯管制造
研发: 核研究, 等离子研究, 粒子加速器, 冷冻研究, 纳米技术, 生物技术
分析仪器: 小型质谱, 表面分析, 残余气体分析
半导体: PVD, CVD, Beamline, Inspection, MBE, Loard-Locks
上海伯东客户分子泵应用一：HiPace 80, HiPace 400 用于分子束外延 MBE, 主要针对金属薄膜及材料器件的氧化物外延生长.
涡轮分子泵 HiPace 400 尺寸图：
上海伯东 Pfeiffer 涡轮分子泵抽速范围 10 至 2700 L/S, 转速最高 90,000 rpm, 极限真空最大 1E-11 mbar, 对小分子气体具有更高的压缩比, 实践证明 Pfeiffer 涡轮分子泵运行时间可以达到 100,000 小时! 普发分子泵提供复合轴承分子泵和五轴全磁浮分子泵二大系列满足不同应用, 推荐搭配 Pfeiffer 旋片泵和干泵共同使用. 推荐分子泵典型应用 >>
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