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上海伯东KRI 离子源在锗基红外镀膜中的应用
发布时间:2023-08-15        浏览次数:12        返回列表
     红外光学薄膜器件作为红外系统重要组成部分已广泛应用于航空航天、国防、环保、分析仪器等各个领域在红外光学应用中由于锗在214μm红外波段内有高而均匀的透过率是一种不可替代的优良红外光学材料锗单晶切片加工成的锗透镜及锗窗和利用锗单晶透过红外波长特性制成的各种红外光学部件广泛用于各类红外光学系统.

 

    锗作为常用的红外光学元件材料具有折射率高、表面反射损失大以及表面易划伤等特点因此必须镀制高性能红外增透膜膜层强度差一直是一个难题其原因是膜层材料结构疏松、易吸潮因此加工过程除了选择好的膜料外还应采用离子束辅助沉积技术来增强薄膜的强度红外材料由于基片的本体吸收、散射和反射等因素导致红外镜片在各波段透过率受限应用中需要减少反射率另外红外镜片的使用环境不同从而需要在基片表面进行光学镀膜如高温高湿、盐雾和风沙等恶劣环境等导致镜片需要通过镀膜技术来实现各种应用需求.

 

KRI 离子源在锗基红外镀膜中的应用

    红外光学元件材料中的锗基材料主要考虑8-14μm这一波段不镀膜情况下锗基材料的透过率只有40-50%, 而镀了增透膜之后的透过率可以大大提高达到90%以上这样可以减少锗基材料表面的反射率提高产品的识别灵敏度和测温距离而且多数客户还会要求镀DLC类金刚石碳膜用来加强锗材料的硬度起到一定的防爆效果.

 

    经过推荐客户采用光学镀膜机加装美国原装进口KRi 霍尔离子源 eH 400, 在膜层在稳定性、附着力、致密度和牢固度等性能大幅度提高解决了环测膜层脱落问题透过率大大提高大幅度提高膜层质量完全达到客户工艺要求.

 

 

     美国 KRI 霍尔离子源 eH 系列紧凑设计高电流低能量宽束型离子源提供原子等级的细微加工能力霍尔离子源 eH 可以以纳米精度来处理薄膜及表面多种型号满足科研及工业半导体应用霍尔离子源高电流提高镀膜沉积速率低能量减少离子轰击损伤表面宽束设计提高吞吐量和覆盖沉积区整体易操作易维护霍尔离子源 eH 提供一套完整的方案包含离子源电子中和器电源供应器流量控制器 MFC 等等可以直接整合在各类真空设备中例如镀膜机, load lock, 溅射系统卷绕镀膜机等.
 

      1978  Dr. Kaufman 博士在美国创立 Kaufman & Robinson, Inc 公司研发生产考夫曼离子源霍尔离子源射频离子源美国考夫曼离子源历经 40 年改良及发展已取得多项专利离子源广泛用于离子清洗 PC, 离子蚀刻 IBE, 辅助镀膜 IBAD, 离子溅射镀膜 IBSD 领域.

若您需要进一步的了解 KRi 霍尔离子源请参考以下联络方式

上海伯东: 罗小姐                                   台湾伯东: 王小姐
T: +86-21-5046-3511 ext 108              T: +886-3-567-9508 ext 161
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